蒸发H2O，然后利用液体混合物中各组分的挥发性差异，将蒸汽部分冷凝分离得到的水。蒸馏和冷凝产生的水，所以其中的无机盐含量很少。如果只对水进行一次蒸馏，虽然去除了非挥发性成分(盐类)，但水中的挥发性成分(氨、二氧化碳、有机物)仍会进入蒸馏水中。

蒸馏水是指通过蒸馏制得的纯水。蒸馏水可分为一次和多次。水被蒸馏一次后，不挥发的成分留在容器中并被除去。挥发性组分进入蒸馏水的初始馏分，通常只有中间部分馏分被收集，约占60%。为了获得更纯净的水，可以在一次蒸馏水中加入碱性高锰酸钾溶液，以去除有机物和二氧化碳；加入非挥发性酸，使氨变成非挥发性铵盐。由于玻璃中含有少量可溶于水的成分，蒸馏两次或两次以上时，需要使用应时蒸馏器获得非常纯净的水，获得的纯水应保存在应时或银容器中。

蒸馏水的质量标准之一是含盐量一般在1 ~ 5 mg/L左右，由于水中含盐量减少，水的电阻率增加，所以可以通过测量水的电阻率来衡量水的纯度。蒸馏水的电阻率要求约为0.1×106ω·cm(欧标·cm)。蒸馏水二次蒸馏后，可得到纯度较高的重蒸馏水。

去离子水

去除水中所有正负离子的水。水中的离子主要通过RO膜和混床树脂去除。但是现在很多人把RO水叫做去离子水，这是不准确的。离子交换树脂用于去除水中的阴、阳离子，但水中仍有可溶性有机物，会污染离子交换柱，降低其效率。去离子水存放后也容易造成细菌繁殖。从自来水到去离子水，一般要经过几个步骤:首先用石英砂过滤掉颗粒较粗的杂质，然后依次用阴阳离子交换柱去除离子，再通过反渗透膜加压，最后一般用紫外线杀菌一步去除水中的微生物。此时，如果电阻率还没有达到要求，可以再次进行离子交换和反渗透过程。而蒸馏水只是汽化后再冷凝，纯度一般不如去离子水，实际半导体行业多使用去离子水。

去离子水是指除去离子形式的杂质后的纯水。ISO/TC 147中对“去离子”的定义是:“去离子水完全或不完全去除离子物质，主要指离子交换树脂的处理方法。”目前该工艺主要采用RO反渗透制备。

在半导体行业，去离子水被称为“超纯水”或“18兆欧水”。

无菌水

通常通过高温蒸汽法、UHT热法、化学法、臭氧法、物理过滤法杀灭或过滤水中的微生物而获得。一般来说，水中的无机盐不会减少。

天然水

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天然水通常含有五种杂质:

1.电解质，包括带电粒子，常见的阳离子有H+、Na+、K+、NH4+、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、Mn2+、Al3+等。有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等。

2.有机物，如有机酸、农药、碳氢化合物、醇类和酯类等。

3.颗粒物。

4.微生物。

5.溶解气体，包括:N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等。所谓对水的净化，就是去除这些杂质。杂质清除得越彻底，水质就越纯净。

蒸馏水、去离子水、高纯水和超纯水的比较

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1.蒸馏水:

水是经过蒸馏和冷凝的。第二遍叫重蒸馏水，第三遍叫三重蒸馏水。有时为了特殊目的，在蒸之前会加入适当的试剂。例如，对于没有氨水的水，将加入酸；耗氧量低的水，加高锰酸钾和酸。工业蒸馏水是用蒸馏水的方法得到的纯水。一般普通蒸馏得到的水纯度不高，出水要经过多级蒸馏水才能很纯净，所以成本比较高。

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2.去离子水:

即当水通过阳离子交换树脂(常用作苯乙烯型强酸阳离子交换树脂)时，水中的阳离子被树脂吸附，树脂上的阳离子H+被置换到水中，并与水中的阳离子形成相应的无机酸；含有这种无机酸的水再被阴离子交换树脂(常用作苯乙烯型强碱性阴离子)OH-置换成水，与水中的H+结合形成水，这就是去离子水。去离子水在现代工业中被广泛使用。使用去离子水是我国许多行业提高产品质量和追赶世界先进水平的重要手段之一。由于去离子水中的离子数量可以人为控制，其电阻率、溶解度、腐蚀性、病毒和细菌等物理、化学和病理指标都得到很好的控制。在工业生产和实验室实验中，如果在所有涉及用水的过程中都使用去离子水，那么很多参数会更接近设计或理想数据，产品质量也会变得容易控制。

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3.高纯水:

指化学纯度极高的水，主要用于生物、化学、冶金、航空航天、电力等领域。但它对水质纯度的要求相当高，所以最常见的应用是电子行业。比如电力系统用的纯水，要求杂质含量低至“微克/升”。在纯水的生产中，水质标准中规定的各项指标应根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺来确定(如一般认为造成电路性能损害的颗粒物大小为其线宽的1/5-1/10)。然而，由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的各种因素，通过工艺试验获得的适合某一电路生产的完整的水质标准并不存在。但近年来电子级水的标准不断修订，高纯水分析领域的诸多突破和发展，新仪器、新分析方法的不断应用，为制水技术的发展创造了条件。高纯水国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]。目前我国高纯水的标准将电子水分分为一级、二级、三级、四级、五级五个等级，本标准参照ASTM电子标准制定。

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4.超纯水:

可以认为是一般工艺难以达到的程度。如果水的电阻率大于18 mω * cm(无明显边界)，则称为超纯水。关键是看你的水的纯度和各种特征指标，比如电导率或电阻率、PH值、钠、重金属、二氧化硅、溶解有机物、微粒、微生物指标等。

区分

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纯水、高纯水和超纯水的区别

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净水

纯水是指既去除了水中容易去除的强电介质，又在一定程度上去除了水中难以去除的硅酸、二氧化碳等弱电解质的水。纯水含盐量在1.0mg/L以下，电导率小于50μs/cm。

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高纯水

高纯水是指除去水中几乎所有导电介质的水，除去未离解的胶体物质、气体和有机物的程度很低。高纯水含盐量在0.3mg/L以下，电导率小于0.2μs/cm。

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超纯水

超纯水是指去除水中几乎所有导电介质的水，去除未离解的胶体物质、气体和有机物的程度很低。

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